半導体用語集
減速モード ディセルモード
英語表記：deceleration mode decel mode
引出電圧以下のエネルギーで注入を行う目的で、質量分析後、逆バイアスによりビームを減速させる機構。これにより低エネルギーのビームを多く得られる。
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