半導体用語集
有転位化
英語表記：first dislocation generation
現在半導体素子基板に使われているSi単結晶は全て無転位結晶である。結晶育成中に、何らかの原因によって転位が発生し、無転位成長が途絶える事がある。この現象を有転位化という。慣用句として、DFNG、DF切れ、DF崩れなどともいう。
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