半導体用語集
連続チャージ法 連続溶融法
英語表記：continuously charged CZ method
引上げた結晶の重量だけ、原料を連続的に供給し、連続的に結晶を引き上げる方法。シリコン単結晶製造では、ドーパントを同時に供給することにより成長結晶の長さ方向にわたって均一な低効率が得られる。欠点として引き上げ途中に結晶が有転位化しても再溶融できないことがあげられる。
関連製品
「連続チャージ法 連続溶融法」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「連続チャージ法 連続溶融法」に関連する用語が存在しません。
「連続チャージ法 連続溶融法」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
