半導体用語集
微粒子数
英語表記：number of particles
超純水に含まれるコンタミナントで無機質粒子およ微生物粒子などから成るものの総数。メンブランフイルタ上に捕集し、光学顕微鏡や電子顕微鏡を用いて直接計数する方法、またはインラインに設置したパーティクルカウンタで計数する方法がある。求めた個数を個/㎖で表示する。
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