半導体用語集
蒸発残さ計
英語表記：non-volatile residue analyzer
超純水中の不純物は微粒子数・比抵抗・TOC・シリカ等個別に測定されているが、これら不純物の総量を蒸発残留物として測定する測定器。超純水を噴霧し、気化させることによりその中に含まれる粒状物質及び溶存物質を清浄空気中に微粒子として析出させ、その微粒子を光学系で測定して統計処理することによって超純水中の不純物濃度をppbで表示する。
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