半導体用語集
清浄度クラス
英語表記：cleanliness class
清浄度レベルの等級分けをした表現。現在、各国で異なった表記方法が使われているが、1999年にISO 14644が発行された。1㎥の空気中に含まれる粒径0.1μm以上の微粒子数を10のべき乗の指数で表記している。この企画の表記はJIS B 9920(1989)と概ね同じである。一方、従来使用されてきた米国連邦規格209Eでは、1ft3の空気中に含まれる粒径0.5μm以上の微粒子数、またはそのべき乗の指数をもって清浄度クラスを表す（慣用中には1ft中の、）指定粒径以上の微粒子数で表す場合が多い）。
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