半導体用語集
キャリヤボックス
英語表記：carrier box
ウエーハを運搬又は保管するための容器。製造途上のウェーハが容器の放出ガスで汚染されないように材質の吟味が重要である。現在、主にポリプロピレン樹脂、ポリカーポネート樹脂が使用されている。
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