半導体用語集

ウェーハマップ

英語表記:wafer map

ウェーハテストにおいて各ダイの検査結果(PASS/FAIL分類など)をダイの配列通りに表示したもの。ウェーハ処理状態の分布やウェーハ処理の良否などの判断に使う。


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