半導体用語集
ミニバッチ装置
英語表記：mini batch system
大バッチ（100枚以上）装置と枚葉装置の中間の枚数（25～50枚）を処理可能なバッチ式装置。
関連製品
「ミニバッチ装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ミニバッチ装置」に関連する用語が存在しません。
「ミニバッチ装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
