半導体用語集
熱処理ウェーハ
英語表記：annealed wafer
高純度ガス雰囲気下で付加的な熱処理を施したシリコンウェーハ。半導体素子形成領域であるウェーハ表層部の酸素を外方拡散させて、表層の酸素濃度を低減させるとともに、欠陥核を溶解してDZ層を形成する及びゲッタリングサイトとしてバルク中に析出膜を形成することを目的としたもの。
関連製品
「熱処理ウェーハ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「熱処理ウェーハ」に関連する用語が存在しません。
「熱処理ウェーハ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
