半導体用語集
レーザCVD装置
英語表記：laser assisted CVD system
レーザ光のエネルギーにより気体分子を分解させ、ウェーハ上に低温で薄膜を形成するCVD装置。レーザの波長により紫外線レーザ（電子励起）CVD装置と赤外線レーザ（振動励起）CVD装置に分類される。
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