半導体用語集
ドラフトチャンバ
英語表記：draft chamber
ガス状汚染物、塵埃、水分、熱などがクリーンルームに拡散するのを防止するため、局所排気がとれる構造の発生部を囲うチャンバ。エッチング、洗浄工程などに用いられる。
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