半導体用語集
通信プロトコル
英語表記：communication protocol
半導体製造装置の通信プロトコルは，SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が標準化した，SECS（SEMI Equipment Communications Standard）,HSMS（High-speed SECS Message Services）が代表的である。さらに，半導体製造工程の自動化の必要条件を満たすために定義されたGEM（Generic Equipment Model）などもある。
ウェハ工程の装置においては，高速通信プロトコルの標準仕様であるHSMS通信仕様を使ったデータ転送が主流になりつつある。この理由は，ウェハ工程の装置では，検査結果の出カの情報量が多いためである。一方，組立工程の装置では，シリアル通信プロトコルのSECS通信仕様を標準的に装備しているものは，まだ少ない。ただし，ワイヤボンダでは，GEM通信仕様を持つ装置も開発されている。
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