半導体用語集
Si高抵抗層析出
英語表記：Si precipitates with high resistance
Alスパイクを妨げるためにあらかじめSiをAlに添加すると、Al配線中のSiは、アロイやプラズマ酸化膜成膜などのたびたびの熱が加わる工程により析出をし始める。これがSiノジュールとなり、配線中で高抵抗を示す。また、析出はコンタクトホールの底にも発生するため、コンタクト抵抗が異常上昇したり、不安定になったりする。配線中に析出すると、配線エッチングの際にSi残渣として残り、後工程に影響を与える。また、配線では Si析出箇所が高抵抗になるため、電流密度が部分的に増大し、配線溶断などの不良を引き起こす。
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