半導体用語集
プリクリーニング チャンバ
英語表記：pre-cleaning chamber
デポジション前にウエーハ表面をクリーニングする専用のチャンバ。マルチチャンバ型の装置に多く用いられる。
関連製品
「プリクリーニング チャンバ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「プリクリーニング チャンバ」に関連する用語が存在しません。
「プリクリーニング チャンバ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
