半導体用語集
溶存酸素
英語表記：dissolved oxygen
水中に溶解している分子状酸素。超純水製造装置では真空脱気塔、窒素ガス脱気装置によって除去され、再溶解を防ぐため、純水タンクには、N2ガスを封入している。濃度の測定は、ウインクラー法、隔膜電極法などがあり、簡易的な検知管比色法もある。単位はμg/ℓで表示する。
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