半導体用語集
ミラー
英語表記：mirror
レーザビームを照射させて導く光学素子。レーザ共振器のミラーはリアミラー、フロントミラーと呼ばれる。導入及び出射光学系部に用いられ、その光学系をデリバリー光学系と呼ぶこともある。
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半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › シール／フランジ
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