半導体用語集
レーザ干渉
英語表記：laser interference
レーザ測長ともいう。干渉とは二つ以上の波が重なり合う時に、それらの位相によって波が互いに強め合ったり弱め合ったりする現象である。干渉縞を観測して長さを知ることができる。レーザ干渉計でレチクルステージやウェハステージの光軸に対するx軸、y軸の移動量や回転量を計測し、ステージの位置制御を行う。レーザにはHe-Neレーザ(波長633nm)が用いられる。レーザから出た光は参照光と測定光に分岐される。測定光はレチクルステージ(またはウェハステージ) 上に設置した鏡(バーミラー)に向かい、この鏡で反射させる。この反射光を参照光と合成させて、その干渉からステージの位置を計測する。通常、計測はステージ上のx軸、y軸の数点で行い、全体のステージの位置と姿勢を知る。このデータを用いてステージの位置や回転を制御する。レーザの波長は気圧、気温、湿度などの外部環境によって変動するので、それを補正して位置を算出する。
関連製品
「レーザ干渉」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「レーザ干渉」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
