半導体用語集
ステージ
英語表記：stage
レチクルステージやウェハステージには、焦点やアライメントの際に位置制御を行うために、x、ｙ、z軸方向、 傾斜θなどを補正するための駆動部が付属している。ステージの駆動方法にはいくつかの種類があり、積層構造を持ったステージでそれぞれのステージが独立して補正を行う場合もある。この駆動部で粗調整および微調整を行いながら位置制御する。ステージ上にはレチクルやウェハが置かれ、その他にステージの位置を検出するためのレーザ干渉計、アライメント用のマークや照度計が置かれることもある。
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