半導体用語集
縮小レンズ光学系
英語表記：reduced lens-optical system
ステッパと呼ばれる縮小投影露光装置にて用いられている光学系を指す。
縮小投影露光法においては、5倍もしくは4倍の寸法で描かれた原図パターンを、縮小投影レンズで5分の1もしくは4分の1に縮小する。縮小レンズは、高い開口数(NA)が等倍投影露光にくらべて比較的容易にえられるので解像度が優れる。縮小投影光学系の種類として、屈折光学系、反射光学系、反射屈折光学系がある。屈折光学系は、レンズのみを用いた光学系であり、反射光学系はミラーのみを用いた光学系である。反射屈折光学系は、屈折光学系の一部、たとえば瞳面近傍にミラーやビームスプリッタを用いている。
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