半導体用語集
密着性強化剤塗布 アドヒージョン処理 HMDS処理
英語表記：adhesion promoter coating vapor primer coating
レジスト膜とウェーハとの密着性向上を目的とした処理。特にポジ型レジストと酸化膜の場合効果が顕著である。一般的にHMDS*を蒸気状にして塗布する。
＊：（CH₃）₃SiNHSi（CH₃）₃
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