半導体用語集
ふっ酸回収装置
英語表記：hydrofluoric acid regenerator
エッチング、洗浄等の工程で使用されたふっ酸排液を粒状炭酸カルシウムに接触させ、ふっ化カルシウムに変えて回収するシステム。反応式は
2HF+CaCO3=CaF2+CO2+H2O
回収したふっ化カルシウムは、ふっ酸製造の原料として使用することができる。
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