半導体用語集
メガヘルツ超音波洗 浄装置 メガソニックスプレー洗浄装置
英語表記：mega hertz ultrasonic cleaning equipment megasonic spray cleaning equipment
メガヘルツ帯等の超音波振動を加えながら洗浄液を被洗浄物にスプレーする洗浄機単なるスプレーと比べ、洗浄力を高める効果がある。メガソニックノズル、スポット型シャワー、その他の呼び名がある。
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