半導体用語集
配線金属
英語表記：wiring metal
半導体集積回路内部のトランジスタ同士を接続するために用いられる金属のこと。アルミニウム、アルミニウム合金が代表的なものだが、集積回路の高速化や配線の長期信頼性の改善目的として、アルミニウムよりさらに電気抵抗が小さく融点の高い金、銅、銀が用いられ始めている。特に抵抗率が低く、メタルマイグレーション耐性のよい銅が注目されている。
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