半導体用語集
アフターコロージョン
英語表記：アフターコロージョン
ドライエッチング時にウェハに付着した塩素・臭素などのハロゲンガスやそれらの反応生成物が大気開放時に大気中の水分と反応し、これによってエッチング後にAl配線などが腐食される現象。このアフターコロージョンを防止するため、ドライエッチング終了・大気開放後の速やかな水洗処理、大気開放後の02や03アッシングおよびドライエッチングシステム内アフタートリートメントチャンバでの大気開放前の H2OプラズマやCF4プラズマなどによる配線金属表面の不動態処理、などの対策が行われている。また、ドライエッチング中に生成されたエッチングポリマー中にもアフターコロージョンを引き起こす反応生成物が含まれているため、ドライあるいはウェットプロセスを用いたエッチングポリマー除去工程も対策として施されている。
最近注目されている低抵抗金属を配線に利用するために考案されたダマシンプロセスは、その配線金属をドライエッチングによって加工するのが難しいので行わないという背景から生み出されたものなので、アフターコロージョンの問題からは逃れられている。しかしながら、配線の低抵抗化における厳しい要求により、金属配線形成後の工程における配線腐食の防止が大きな懸案の一つにあがっている。
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