半導体用語集
電気再生式イオン交換装置
英語表記:electrodeionization equipment continuous deionization
イオン交換膜、イオン交換樹脂を組合せ、電流を流すことによりイオン交換樹脂の再生を行ないながら脱イオンする装置。陽イオン交換膜と陰イオン交換膜の間にイオン交換樹脂を充填する。薬品によるイオン交換樹脂の再生は不要。
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