半導体用語集
中性能エアフィルタ
英語表記：medium efficiency particulate air filter
主として5μmより小さい粒子に対して中程度の粒子捕集率をもつエアフィルタ。一般に、エアフィルタの働きを補助する中間フィルタとして用いられる。
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