半導体用語集
搬送ロボット
英語表記：transport robot
ローダ、処理槽、アンローダ間をウェーハの入ったカセット又はウェーハのみを搬送するロボット。走行範囲は1ビッチを単位に選択出来、動作範囲は1ピッチを単位に選択出来、動作範囲は予め設定される。マイクロプロセッサやシーケンサーにより希望の処理が出来るよう制御される。規模、構造により各種安全対策、運用管理が必要。
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