半導体用語集
搬送ロボット
英語表記:transport robot
ローダ、処理槽、アンローダ間をウェーハの入ったカセット又はウェーハのみを搬送するロボット。走行範囲は1ビッチを単位に選択出来、動作範囲は1ピッチを単位に選択出来、動作範囲は予め設定される。マイクロプロセッサやシーケンサーにより希望の処理が出来るよう制御される。規模、構造により各種安全対策、運用管理が必要。
関連製品
枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
PHT株式会社
キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 搬送/ハンドリング装置 › 工程間/装置間搬送装置
ウェーハ搬送装置
PHT株式会社
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 搬送/ハンドリング装置 › 工程間/装置間搬送装置
ウェーハカセットチェンジャー
PHT株式会社
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 搬送/ハンドリング装置 › 工程間/装置間搬送装置
ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4
PHT株式会社
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 搬送/ハンドリング装置 › ロボット
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。