半導体用語集
メガソニック洗浄装置 メガヘルツ超音波洗浄装置
英語表記：megasonic cleaning equipment
800kHzから1MHzの周波数帯域の超音波を使用する洗浄装置。メガヘルツ超音波洗浄では、キャビテーションの発生がほとんどなく、強大な振動化速度が水分子に付与されるので、ウェーハにダメージを与えることなく、サブミクロンのパーティクルを除去することができる。
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