半導体用語集
クリーンロボット
英語表記：clean robot
移載装置の一種で、クリーンに対応した産業用ロボットの総称。
関連製品
STVCR4190
株式会社ジェーイーエル
サーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様4軸円筒座標型クリーンロボット
ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 液晶注入・封止装置 › 液晶滴下装置（インクジェット）
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