半導体用語集
環化ゴム
英語表記：cyclic rubber
ブタジェンなどのジェンモノマーからは付加重合により不飽和結合を持ったポリジェンゴムが形成される。これを酸触媒などにより、さらに不飽和結合を反応させてその一部を環化したものは環化ゴムと呼ばれ、レジスト樹脂として使われている。天然ゴム、イソプレンゴムあるいはブタジエンゴムなどを適当に環化しガラス転移点を高くしたものがレジスト樹脂として使われている。こうした環化ゴム樹脂に架橋剤としてビスアジド化合物を添加したものが、主にg線用ネガレジストとして使われた。樹脂には反応性の不飽和結合が存在しており、これらの不飽和結合は、架橋剤であるビスアジド化合物から光照射により発生したナイ トレンと容易に反応して架橋反応を形成し,ネガレジストとして機能する。したがって、架橋剤であるビスアジド化合物の感光性とともに樹脂の環化率 (環化の程度) 、分子量がレジスト性能に大きく影響している。またこのレジストは、ゴム系樹脂をベースとしているために密着性、耐薬品性にはすぐれているものの、膨潤しやすくその解像性は2 gm程度であること,さらには,べンゼン環構造を有していないためドライエッチング耐性が不足している。このため, LSI製造においては, i線露光以降,多くはノボラックレジストに置き換えられている。
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