半導体用語集
プラズマ内電位
英語表記：plasma inside potential
電子とイオンが動きまわってプラズマ状態にある空間の電位。このプラズマ内の電位の分布は、その密度、温度、衝突で決まるプラズマの電気伝導度σと、電極にかける電圧などの境界条件によって大きく異なる。外部から電界をかけない場合は、電子とイオンの拡散のバランスをとるように発生する両極性電界で決まる電位分布をし、プラズマの中心の電位は壁よりも電子温度に相当する分だけ高い電位にある。平行平板電極に電圧をかけた場合は、低圧力でσが大きい時プラズマ内は等電位に近く、高圧力ではσで決まる電位勾配が発生する。
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