半導体用語集
アスペクト比
英語表記：aspect ratio
微細加工されたデバイスの形状において、コンタクトホールや配線の縦／横比のこと。例えば、深さ（縦）1.5μmで径（横）が0.3μmの場合にアスペクト比は1.5／0.3＝5、高さ（縦）1.0μｍでスペース（横）が0.4μmの場合にアスペクト比は1.0／0.4＝2.5となる。アスペクト比が高いほど微細加工や次工程での膜付けや加工のプロセスが困難となり、より先進のプロセス技術が必要とされる。
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