半導体用語集
抵抗率計 比抵抗系
英語表記:resistivity meter
温度センサを内蔵した一対の金属電極を用いて溶液の電気抵抗を測定する計器。抵抗率(または導電率)の原因となる水分子の解離や電解質の解離などは温度依存性をもつことから通常25℃における換算値をMΩ・cmで表示する。0.01MΩ・cmまでの分解能を有する計器が使用されている。
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