半導体用語集
終点検知
英語表記：end point detection
ポリッシュの終点を自動的に検知すること。ポリッシュによる凹凸の消滅や異種界面露出時のプラテンモータ、キャリヤモータの電流値の変化、あるいはキャリヤの振動の変化をモニターする方法や、ポリッシュ中の被研磨膜厚を直接測定する方法等が提案されている。
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