半導体用語集
大気圧イオン化質量分析計
英語表記：atmospheric press pressure ionization mass
N2、ArあるいはH2中の微量不純物成分を分析する計器。大気圧下でイオン化することによって微量不純物のイオン化効率を向上させ、発生したイオンを質量分析によって検出する方式をとる。 pptレベルの検出が可能である。モノシランなどの特殊材料ガス中の微量不純物の分析にも適用できる。
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