半導体用語集
多層レジスト法
英語表記：multilayer resist method
複数種のレジストを多層に塗布、形成することにより、レジスト表面を平坦化し、レジスト層内又は基板表面からの光、又は電子線の反射、散乱効果を減少させて、想像力を向上させる方法。
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