半導体用語集
ドライ現像
英語表記：dry developing
レジストのパターンをドライエッチングを用いて、形成する方法。湿式現像方式に比べ、下地反射等の問題が回避できる。シリル化プロセスの様にレジスト自体にエッチングの選択性をもたせる手法や、多層レジスト法などがある。
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