バッファ（buffer） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：buffer

装置内でマスク、ウエーハなどの基板を一時収納するためのユニット。通常のカセット（キャリヤ）を用いるものと、専用の治具を用いるものがある。基板の払い出しには先入れを先出し（FIFO）と後入れ先出し（LIFO）の2方法がある。