半導体用語集
バッファ層
英語表記：buffer layer
良質な薄膜をえるために基板との間に設けバッファ (緩衝) となる層をいう。本来は基板(または薄膜)と薄膜の格子不整合性を緩和するために基板と薄膜のいずれにも格子整合性のよい材料による膜を間に挟み、その膜をバッファ層 (緩衝層) と呼ぶ。最近ではもう少し広い範囲で使われるようになっている。 たとえば基板と薄膜の応力緩和や相互拡散防止などに用いる中間層もバッファ層と呼ぶ場合がある。
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