半導体用語集
一槽式洗浄装置 ワンバス式洗浄装置 単槽型洗浄装置
英語表記：one bath type cleaning equipment
一個の洗浄処理部（槽、タンク、チャンバ等）で複数の洗浄処理を順次行うことができる装置。装置占有面積が小さくできることで最近注目されているが、半面スループットは低下する。
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