半導体用語集

ダミーウェーハ

英語表記:dummy wafer

装置の稼働テスト、バッチ処理時のウェーハ枚数合わせ、ローディング効果対策などに使用される。実際のICパターン形成がされていないウェーハ。



関連製品

ダミーウェーハ/モニターウェーハ

株式会社豊港

豊港化学では、前工程向け「モニターウェーハ」や、後工程向け「ダミーウェーハ」等を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/Silicon-wafer

エレクトロニクス材料 › 半導体材料 › シリコン


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