半導体用語集
ダミーウェーハ
英語表記：dummy wafer
装置の稼働テスト、バッチ処理時のウェーハ枚数合わせ、ローディング効果対策などに使用される。実際のICパターン形成がされていないウェーハ。
関連製品
ダミーウェーハ
株式会社豊港
豊港化学では、前工程向け「モニターウェーハ」や、後工程向け「ダミーウェーハ」等を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL：https://toyokou.jp/product/dummy-wafer
エレクトロニクス材料 › 半導体材料 › シリコン
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