半導体用語集
研磨布の溝加工
英語表記：grooving of polishing pad
研磨布の表面に研磨特性を安定化するために、各種形状の溝を作ること。形状にはパターン、ピッチ、溝断面の違いにより、種々のものがある。溝パターンには同心円溝、パーフォレート溝、格子溝があるが、格子溝が一般的で、その際の溝形状としては溝ピッチ20mm、溝幅2mm、深さは研磨布の約1/2、直角断面溝の仕様のものがよく用いられる。溝はスラリーの流動安定化、研磨圧力の均一化に効果があり、溝がない場合は研磨レートが約1/2に減少し、かつ面内レートのばらつきも大きくなる。溝の研磨特性安定化の効果は大きい。
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