半導体用語集
レジストポンプ ダイアフラムポンプ ベローズポンプ
英語表記：resist pump diaphragm pump bellows pump
レジストや溶剤を精密、且つ再現性よく吐出するために使用される空気圧（またはモータ）制御ポンプ。隔膜型のダイアフラムポンプとじゃばら型のベローズポンプの2種類が代表的であり、2次流体駆動方式のものもある。
関連製品
「レジストポンプ ダイアフラムポンプ ベローズポンプ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「レジストポンプ ダイアフラムポンプ ベローズポンプ」に関連する用語が存在しません。
「レジストポンプ ダイアフラムポンプ ベローズポンプ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
