半導体用語集
静電スキャン
英語表記：electrostatic scan
ウェーハにイオン注入を行うためにイオンビームを走査する方法で、荷電粒子が電界からうける力を用いてイオンビームを偏光する方式。イオンビームをX、Y方向ともに走査する方式と、一方向のみに走査する方式とがある。一般に、ウェーハに均一な注入が行えるように、強さ及び極性を時間の関数として制御した電圧が偏光電極に印加される。
また、偏光電極にDCオフセット電圧を印加して、イオンビームが残留ガス分子と衝突して生じる中性ビームを分離するトラップを設けることもある。
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