半導体用語集
磁場スキャン
英語表記：magnetic scan
ウェーハにイオン注入を行うためにイオンビームを走査する方法で、磁場中を運動する荷電粒子に作用する力（ローレンツカ）を用いてイオンビームを偏光する方式。
一般に、ウェーハに均一な注入が行えるように、走査電磁石の励磁電流を高速に変化させることによって走査磁場の大きさ及び向きを時間の関数として制御する。走査用電磁石には渦電流による損失を押さえるための特殊な構造が採用されることがある。静電スキャンと比べるとイオンビーム中の正イオンと電子が分離されにくいため、低エネルギー・大電流ビームの輸送に適している。
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