半導体用語集
ハイブリッドスキャン
英語表記：hybrid scan
ビームスキャン（静電スキャン、マグネットスキャン）とメカニカルスキャンを組合わせて注入均一性を得る走査方式。例えばX方向のスキャンはウェーハディスクを高速回転させ、同時に電場か磁場を用いてイオンビームをｙ方向にスキャンさせる。
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