半導体用語集
排気圧力制御
英語表記：exhaust pressure control
クリーンルームの局所排気系において、排気ダクト内圧力を検出し、排気ファン、空調機ファンの風量を制御して排気圧力を一定に保ち、所定の制御風速を得るシステム。
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