半導体用語集
限外ろ過装置 UF装置
英語表記：ultrafiltration equipment
高分子が排除できる限外ろ過膜を用いて、分子の大きさにより、分離を行う圧力ろ過装置。純水中の微粒子を完全に除去するために使用する。分画分子量数千～数十万程度の膜を使用する場合が多い。限外ろ過膜の形状としては、中空糸型とスパイラル型、ディスク型があるが、超純水製造においては中空糸型限外ろ過膜の使用が一般的である。
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