半導体用語集
電子式調圧器
英語表記：electric autopressure regulator
従来の手動による機械式圧力調整方式に代えて、アクチュエータにピエゾ素子および電磁素子を用い、電気信号によって自動で圧力制御する調整器。調圧器の二次圧力制御用と一次圧力制御用（背面調圧器）がある。調圧器の流量変動や一次圧の変動に対する制御二次圧の変動が極端に少なく、調圧特性に優れている。
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